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제목 클린룸...
작성일 16-05-19 10:23 작성자 알펜이엔지

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작성자 알펜이엔지 작성일16-05-19 10:23 조회2,395회 댓글0건

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◈클린룸이란

  첨단 반도체, LCD, PDP, OLED 등 디스플레이, 가전, 휴대폰, 컴퓨터, 식품, 음료
의약품, 포장용품, 광학, 필름, 시계, 카메라, 현미경, 통신기기 등 정밀기기 산업에
아주 작은 미세먼지, 온도, 습도, 진동 등에 의해서 생산에 차질이 생길 수 있어,
통제된 일정한 기준의 조건을 갖춘 장소를 필요로 하는데, 이러한 곳을 클린룸이라
한다.

 ◈클린룸의 정의
공기중에 존재하는 입자, 공간 내부온도와 습도, 공기압, 진동, 소음, 밝기, 유기물, 무기물,
가스, 전파세기, 노이즈 등의 조건을 원하는 데로 제어할 수 있는 밀폐된 공간을 의미한다.

 ◈클린룸의 4대원칙

>> 침투방지 : 먼지와 미생물의 실내 침투방지
>> 발생방지 : 실내에서 먼지나 미생물의 발생방지
>> 누적방지 : 실내에 먼지나 미생물의 누적방지
>> 신속제거 : 실내의 먼지나 미생물의 신속제거

클린룸은 작업용도에 알맞게 청정도 및 시설을 구축하는데 시설투자비용 및
유지비용을  합리적으로 사용목적에 맞게 운영하여야 한다.

 ◈클린룸 청정단위

클린룸의 청정도는 CLASS라는 단위를 사용한다.
클래스와 함께 표기되는 숫자는 정육면체 1피트 공간에 포함하는 0.5㎛ 크기의
먼지의 개수를 의미한다.
예로 클래스 1000은 1세제곱피트당 0.5㎛ 크기의 먼지가 1,000개 가량 포함된 공
간을 의미한다. 이 수준의 청정도는 컴퓨터 조립라인이나. 카메라용 필름을 생산
하는 데 적합한 환경이지만, 디스플레이 액정시설 등 에는 맞지 않는다.
반도체 웨이퍼 공정의 경우에는 CLASS 1~100의 높은 수준의 청정도를 요구하며,
반면, 반도체 후공저의 경우에도 CLASS 100~100000까지도 가능하기도 하다.

 ◈클린룸 공기 순환 방식에 따른 분류

>> 수직층류 방식 : 천정으로 부터 외기를 공급받고, 내부공기는 바닥을 통해
내보낸는 방식으로, 항상 공기는 위에서 아래로 이동하며, 중력의 방향과 같아
효과적이다.

>> 수평층류 방식 : 공기를 좌에서 우로 수평방향으로 이동하게 하는 방식이다.

>> 난류방식 : 천정 중앙에서 유입된 공기가 좌우로 나뉘어 바닥면을  향해 비스듬히
흐르는 방식이다.

 ◈클린룸 설비종류

>> 클린락커 : 클린룸 출입할 때 사용하는 방진복 보관함
>> 에어샤워 : 출입시 고압의 공기를 분사하여 먼지를 제거하는  시설
>> 패스박스 : 외부 물건을 클린룸으로 반입시 먼지를 제거하여 반입함
>> 팬필터유닛 : 클린룸에 깨끗한 공기를 공급하는 장치
>> 릴리프댐퍼 : 내부와 외부 기압차를 고려해 출입구를 제어하는 장치
 
◈ 클린룸 미진동 이란

반도체 및 디스플레이 공장 구조물은 일반 건축물과 차이점이 있다. 반도체를
생산하는 시설과 기계공조실 등의 구조동이 분리되어 있는 것이 특징이다.
생산라인은 클린룸이 형성되어 있어 공기청정도가 유지되며, ACCESS FLOOR를
통한 공기 투입 및 토출이 이루어진다. 미세진동을 요구하는 장비는 제진대를
설치하며, 초기 설계 부터 검토되어 시공되어지고 있다.
미진동제어는 인간이 느끼지 못하는 건물이 가지는 수평변위 및 수직변위를 제어
하는 것이다, 진동기준에 이용되는 것은 변위와 가속도가 이다.

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