◈ AIR FILTER의 역사

>> 0~50 년 : 고대로마시대 광산의 분진제거용 마스크개발
>> 1915년 : 제1차 세계대전 시 방독용 활성탄필터의 개발
>> 1931년 : 이상기체에 대한 관성충돌효과 및 차단효과이론정립
                [Albrecht(충돌), Shell(충돌+차단)]
>> 1936년 : 이상기체에 대한 확산효과 이론정립
                [Kaufmann(충돌+차단+확산)]
>> 1938~1939년 : 제2차 세계대전 시 방사능 오염제거용 중성능
                필터개발
>> 1952~1954년 : 반도체용 클린룸의 HEPA FILTER 개발
>> 1972년 : 확산, 차단 및 충돌효과의 종합성능 이론정립[Yeh&Liu]
>> 1980년 : 반도체 및 바이오용 클린룸의 ULPA FILTER 개발